單晶爐在運作過程中因為一直都會處于高溫的狀態(tài)下，對其他的零部件要求高且嚴(yán)格，因為需要維持長時間的工作，所以需要特別注意定期進行必要的維護保養(yǎng)。

1、坩堝驅(qū)動裝置要求的運動精度比較高，是設(shè)備的核心運動部件，應(yīng)重點維護。坩堝軸是石墨坩堝的支撐軸，應(yīng)隨時檢查其冷卻水的情況，以免燒損。

坩堝驅(qū)動采用滾珠絲杠和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，是坩堝驅(qū)動的關(guān)鍵部件，需保持清潔，嚴(yán)禁灰塵、雜物附著，并定期涂抹潤滑脂。

2、籽晶旋轉(zhuǎn)及提升機構(gòu)的維修

籽晶旋轉(zhuǎn)及提升機構(gòu)也是單晶爐的關(guān)鍵部件，該部件運行的好壞直接影響單晶的生長。因此，也須重點維護。

卷輪箱是籽晶提升的核心，卷輪箱內(nèi)的零件一般情況下不得隨意拆除，必須拆除時，重新安裝時必須保證軟軸對中。軟軸鋼絲繩在使用中不準(zhǔn)有死彎現(xiàn)象，并在每次開爐時檢查鋼絲繩是否燒損，如有燒損應(yīng)及時修整或更換新的鋼絲繩。

除了上面的兩點之外，在每次開爐前應(yīng)檢查水路系統(tǒng)是否暢通，水溫檢測傳感器安裝是否正常。發(fā)現(xiàn)有結(jié)垢時應(yīng)及時清理。在拉晶過程中，若發(fā)現(xiàn)水壓報警或漏水時要及時采取措施。真空管道的過濾網(wǎng)每爐要清理一次，抽氣管道每20～30爐清理一次。

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